半導体やＬＥＤ、太陽電池モジュールなどの精密洗浄に用いられる酸・アルカリ・有機溶剤などの薬液。ただ、薬液を使いたくない場合や、「もっと細かい部分まで綺麗にしたい」「隙間に入った小さな異物を落としたい」というケースもあります。
ＨＵＧパワーの『蒸気２流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』は、３０μｍ以下の水滴と蒸気を超音速噴射し、対象物の表面に衝突する際に水滴内でキャビテーションを起こして汚れを落とす洗浄装置です。大気圧下での温度は８０℃以下で、薬品を使わずに微細な異物を除去できます。１回の給水で連続１時間以上使用可能なほか、装置はキャスター付きで移動も容易。油性汚れなどもしっかり除去可能です。
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